Thiết kế và thử nghiệm một số hệ thống đo lường chuyên dụng trên cơ sở cảm biến áp suất MEMS : Luận văn ThS Kỹ thuật điện tử - viễn thông: 2.07.00 /
Trình bày một số khái niệm liên quan đến áp suất và các phương pháp được sử dụng để đo áp suất. Nêu các khái niệm liên quan đến cảm biến áp suất công nghệ MEMS, các quy trình sản xuất MEMS cũng như các cảm biến áp suất MEMS. Ứng dụng của cảm biến áp suất công nghệ MEMS trong đo lường và điều khiển n...
Lưu vào:
| Tác giả chính: | |
|---|---|
| Đồng tác giả: | |
| Định dạng: | Sách |
| Ngôn ngữ: | English Vietnamese |
| Xuất bản : |
H. :
ĐHCN,
2006
|
| Chủ đề: | |
| Thẻ: |
Thêm từ khóa
Không có thẻ nào, Hãy là người đầu tiên đánh dấu biểu ghi này!
|