Thiết kế và thử nghiệm một số hệ thống đo lường chuyên dụng trên cơ sở cảm biến áp suất MEMS : Luận văn ThS Kỹ thuật điện tử - viễn thông: 2.07.00 /

Trình bày một số khái niệm liên quan đến áp suất và các phương pháp được sử dụng để đo áp suất. Nêu các khái niệm liên quan đến cảm biến áp suất công nghệ MEMS, các quy trình sản xuất MEMS cũng như các cảm biến áp suất MEMS. Ứng dụng của cảm biến áp suất công nghệ MEMS trong đo lường và điều khiển n...

Miêu tả chi tiết

Lưu vào:
Tác giả chính: Nguyễn, Kiêm Hùng
Đồng tác giả: Ngô, Diên Tập, 1946-, (Người hướng dẫn)
Định dạng: Sách
Ngôn ngữ:English
Vietnamese
Xuất bản : H. : ĐHCN, 2006
Chủ đề:
Thẻ: Thêm từ khóa
Không có thẻ nào, Hãy là người đầu tiên đánh dấu biểu ghi này!
LEADER 01629nam a2200289 4500
001 dlc000066277
005 20150529105102.0
008 101207 000 0 eng d
035 |a VNU060075807 
041 |a vie 
044 |a VN 
082 |a 621.382 
090 |a 621.382  |b NG-H 2006 
100 1 |a Nguyễn, Kiêm Hùng 
245 1 0 |a Thiết kế và thử nghiệm một số hệ thống đo lường chuyên dụng trên cơ sở cảm biến áp suất MEMS :  |b Luận văn ThS Kỹ thuật điện tử - viễn thông: 2.07.00 /  |c Nguyễn Kiêm Hùng ; Nghd. : PGS.TS. Ngô Diên Tập 
260 |a H. :  |b ĐHCN,  |c 2006 
300 |a 99 tr. +  |e Đĩa CD-ROM 
520 |a Trình bày một số khái niệm liên quan đến áp suất và các phương pháp được sử dụng để đo áp suất. Nêu các khái niệm liên quan đến cảm biến áp suất công nghệ MEMS, các quy trình sản xuất MEMS cũng như các cảm biến áp suất MEMS. Ứng dụng của cảm biến áp suất công nghệ MEMS trong đo lường và điều khiển nhằm phục vụ cho việc thiết kế các hệ đo, các kiến thức về phần cứng và lập trình cho vi điều khiển AVR. 
653 |a Công nghệ MEMS 
653 |a Cảm biến áp suất 
653 |a Kỹ thuật điện tử 
653 |a Áp suất 
653 |a Đo lường 
700 1 |a Ngô, Diên Tập,  |d 1946-,  |e Người hướng dẫn 
942 |c LV 
999 |c 1923  |d 1923 
952 |0 0  |1 0  |2 DDC  |4 0  |6 621_382000000000000  |7 0  |9 15827  |a DL  |b DL  |c DL_LV  |d 2011-05-19  |g 60000.00  |o 621.382   |p LV001591  |r 2014-07-12  |w 2014-07-12  |y LV